Skip Ribbon Commands
Skip to main content

Puolijohdetyökalujen mittaukset ja valvonta

Täsmälliset ja vakaat mittauslaitteet valvovat tarkasti puolijohdetyökaluja ympäröivää mikroilmastoa.

Vaisala tarjoaa kompaktit OEM-moduulit suhteellisen kosteuden ja ilmanpaineen mittaamiseen.

Semiconductor tool manufacturing, monitoring while manufacturing semiconductor tools, microenvironment monitoring systems from Vaisala.